镜被证明几乎是不可能的。最终,蔡司创造了有史以来最光滑的镜子,其中的缺陷小到几乎难以察觉。蔡司表示,如果EUV光刻系统中的镜子按比例放大到德国面积大小,它们最大的不平整度是十分之一毫米。为了精确地引导EUV,EUV光刻系统中的镜子必须保持完全静止,这需要机械和传感器高度精确,以至蔡司宣称其可以让激光击中月球上的高尔夫球。
《负责任的供应链:为高科技行业设置更高的标准》(ResponsibleSupplyChain:SettingtheBarHigherfortheHigh-TechIndustry),阿斯麦,
新闻稿:《蔡司和阿斯麦将在21世纪20年代初加强下一代EUV光刻的合作关系》(PressRelease:ZEISSandASMLStrengthenPartnershipforNextGenerationofEUVLithographyDueinEarly2020s),阿斯麦,2016年11月3日,