微镜颠倒过来,用一个矩形图案覆盖目镜,这样光线就只能穿过一个矩形区域。光线通过目镜照射矩形图案,当光线通过物镜聚焦到光刻胶涂层的锗上时,倒置的显微镜缩小了矩形图案的尺寸,形成了完美的微缩版。当光线照射到光刻胶层时,化学结构发生了改变,使其显影时能被溶解,留下一个比任何一团手工蜡都要小得多的矩形小孔,其形状也更精确。很快,莱思罗普发现他也可以通过添加一层超薄的铝,将锗与外部电源连接起来,从而印出“电线”。
莱思罗普称这一过程为光刻。他生产的晶体管比以前小得多,直径只有0.1英寸,高度只有0.0005英寸。光刻技术使人们可以构想大规模生产微型晶体管。1957年,莱思罗普申请了这项技术的专利。随着军乐队的演奏,军方为他的工作颁发了一枚奖章,并给了他25000美元的奖金,他用这笔奖金给家人买了一辆纳什·兰布勒旅行车。
哈格蒂和基尔比立即意识到,莱思罗普的光刻工艺比美国陆军给他的25000美元奖金要值钱得多。“民兵II号”导弹计划需要数千块集成电路,阿波罗太空船需要数万块集成电路。而光和光刻胶可以解决大规模生产问题,以手工焊接导线无法解决的方式实现芯片制造的机械化和小型化。
在TI实施莱思罗普的光刻工艺需要新材料和新工艺。柯达的光刻胶纯度不足以保证大规模生产,因此TI自己购买了离心机,并对柯达提供的化学品进行再加工。莱思罗普乘坐火车在美国各地寻找“掩模”,这种掩模用于将精确的图案投射到覆盖光刻胶的半导体晶圆上。他最终得出结论,现有掩模公司的产品都没有足够的精度,因此TI决定自己制造掩模。基尔比的集成电路所需的硅片必须是超纯的,超出任何公司的销售品质范围。因此,TI也开始自己生产硅片。
与杰伊·莱思罗普的通信,2021年。采访玛丽·安妮·波特,2021年。当一切都标准化时,大规模生产才有效。通用汽车公司能够将许多标准的汽车零件用于所有从装配线上下线的雪佛兰。在半导体方面,像TI这样的公司,缺少可检测出制造集成电路的原料是否符合标准的工具。化学品中含有当时无法检测到的杂质,温度和压力的细微变化可能会引起意外的化学反应,投射光线的掩模可能被灰尘颗粒污染,一点点杂质就可能使整批产品报废。唯一的改进方法是反复试验,TI组织了数千次实验来评估不同温度与化学物质组合对生产工艺的影响。基尔比每周六都在TI