E.Gallagher），SEMI，2005年3月9日。克雷格·艾迪生采访阿瑟·W.扎菲罗普洛（ArthurW.Zafiropoulo），SEMI，2006年5月25日。GCA公司，《关于
们公司成员》（AboutOurCorporationMembers），《美国气象学会公报》（BulletinAmericanMeteorologicalSociety），1962年12月12日。克莱顿·琼斯，《计算机化激光快速制造微芯片电路》（ComputerizedLaserSwiftlyCarvesCircuitsforMicrochips）。20世纪70年代末，珀金埃尔默公司
扫描式光刻机主导
光刻市场，但到20世纪80年代，它被GCA公司取代。GCA公司由
位前空军军官领导。他后来成为地球物理学家，名叫米尔特·格林伯格（MiltGreenberg），他是位雄心勃勃、固执、满嘴脏话天才。第二次世界大战后，格林伯格和位空军伙伴利用洛克菲勒兄弟种子资金成立GCA。作为名军事气象学家，格林伯格利用自己对大气层解和与空军联系，成为名国防承包商，生产高空气球等装备，用于测量和拍摄苏联照片。
采访格里夫·里索，2021年。《格里夫·里索谈光刻》（GriffResoronPhotolithography），半导体历史，YouTube视频，2009年1月30日，野心很快就变得更大。半导体行业增长表明，真正资金来自大众市场，而不是特别军事合同。格林伯格认为，其公司用于军事侦察高科技光学系统可以用在制造民用芯片上。20世纪70年代，在GCA为芯片制造商宣传其产品次行业会议上，TI张忠谋走到GCA展台前，开始查看GCA设备，并询问设备是否可以步步地移动，从而逐个将硅片上每个芯片曝光，而不是次扫描整个晶圆。这样“步进式光刻机”比当时已有扫描式准确得多。虽然以前从来没有设计过步进式光刻机，但GCA工程师相信，他们可以创造出个，
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